上传时间: 2026-11-12

原子层沉积镀膜仪
项目所在采购意向：	华北电力大学2026年11至12月政府采购意向
采购单位：	华北电力大学
采购项目名称：	原子层沉积镀膜仪
预算金额：	175.000000万元(人民币)
采购品目：	A02052402真空应用设备
采购需求概况：	能够实现在纳米尺度上精确、均匀地沉积薄膜，用于先进半导体器件、太阳电池中金属栅电极、阻挡层、钝化层等关键薄膜的制备。1.腔体加热方式：外置加热 2.镀膜样品尺寸： 300×400mm 玻璃或4片G12硅片 3. 反应温度：最高150℃，控制精度±1℃ 4.沉积均匀性≥95%
预计采购时间：	2026-12
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。